[实用新型]一种点源坩埚有效
申请号: | 202020804291.0 | 申请日: | 2020-05-14 |
公开(公告)号: | CN212581997U | 公开(公告)日: | 2021-02-23 |
发明(设计)人: | 黄逸臻;张麒麟;孙玉俊 | 申请(专利权)人: | 福建华佳彩有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/12 |
代理公司: | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人: | 徐剑兵;林祥翔 |
地址: | 351100 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种点源坩埚,包括:坩埚本体、坩埚盖片、坩埚垫片、紧固结构;所述坩埚盖片盖设于所述坩埚本体的开口处上;所述坩埚盖片上还设置有第一通孔,所述坩埚垫片设置有第二通孔,且所述坩埚垫片通过紧固结构盖设于通孔上,所述坩埚垫片的第二通孔正对所述坩埚盖片的第一通孔,所述紧固结构用于防止所述坩埚垫片与坩埚盖片相对移动。发明人通过增设紧固结构的方式阻止坩埚盖片与坩埚垫片发生相对的运动,同时使坩埚盖片与坩埚垫片二者处在相对固定的位置上。解决坩埚震动导致的坩埚垫片错位,以及坩埚垫片堵孔的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 坩埚 | ||
【主权项】:
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