[实用新型]一种单晶炉用反射板有效
申请号: | 202020245512.5 | 申请日: | 2020-03-03 |
公开(公告)号: | CN211814711U | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 陈超;刘进怀;殷勇;陈斌 | 申请(专利权)人: | 湖南金创新材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 长沙国科天河知识产权代理有限公司 43225 | 代理人: | 邱轶 |
地址: | 410000 湖南省*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本实用新型公开一种单晶炉用反射板,包括固化碳毡层和反射层,反射层的边缘向固化碳毡层一侧折弯形成折弯边;固化碳毡层中部开设有托杆孔、以几何中心为圆心的边缘开设有多个电极孔以及开设于相邻两电极孔之间的多个排气孔;反射层上开设有与所述托杆孔、电极孔以及排气孔一一对应且位置相同、尺寸相同的通孔。本实用新型通过在固化碳毡层表面覆盖反射层,反射层将炉内加热器辐射过来的热量反射至坩埚处,有利于热场温度的均匀,使单晶炉内的热场温度均匀,减少了炉底热量的损失,降低了单晶硅棒生产的能耗;采用钼板、钨板、钨钼合金板或铱板等材料作为反射层,其熔点高,不易破裂,导热系数低,有效减缓了反射板的老化,延长了其使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉用 反射 | ||
【主权项】:
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