[实用新型]一种高节能高效率纳米真空镀膜仪有效
| 申请号： | 202020211203.6 | 申请日： | 2020-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN211689204U | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 王宁 | 申请（专利权）人： | 苏州泓沵达仪器科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 汪建华 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了高节能高效率纳米真空镀膜仪，包括蒸发源,蒸发源包括具有蒸发腔的柱形坩埚,柱形坩埚的顶部设有盖体,盖体上开设有出气口,柱形坩埚的内底面设有第一凸台,柱形坩埚的外底面上设有凹槽,柱形坩埚的上端内壁为锥形面,盖体的外边缘依次设有相连接的三个环形板,三个环形板分别与柱形坩埚的锥形面、上端面及上端外壁紧密贴合。通过在柱形坩埚内设置第一凸台，在进行真空蒸镀时，能增大蒸发材料与柱形坩埚的受热面积，以提高蒸发效率；柱形坩埚上设有锥形面，盖体上设置多个环形板分别与柱形坩埚的上端紧密贴合，有利于提高柱形坩埚与盖体边缘连接的密封性能，使蒸发后的气体仅从出气口射出，防止沉积到其他位置造成材料的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 节能 高效率 纳米 真空镀膜 | ||
【主权项】：
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