[实用新型]一种LED外延片有效
申请号: | 202020005747.7 | 申请日: | 2020-01-02 |
公开(公告)号: | CN211879400U | 公开(公告)日: | 2020-11-06 |
发明(设计)人: | 滕龙;霍丽艳;吴洪浩;刘兆 | 申请(专利权)人: | 江西乾照光电有限公司 |
主分类号: | H01L33/20 | 分类号: | H01L33/20;H01L33/06;H01L33/12;H01L33/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 夏菁 |
地址: | 330103 江西省南*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种LED外延片,包括衬底、位于所述衬底表面的翘曲控制层、依次位于所述翘曲控制层表面的N型半导体层、多量子阱层和P型半导体层;其中,所述翘曲控制层是通过对所述衬底进行加热,并采用氮化气体对所述衬底进行氮化处理形成的,所述氮化气体至少包括氨气。对衬底进行加热,并采用氮化气体对衬底进行氮化处理,可以使得氨气与衬底表面的一些化学键结合,形成晶格常数介于衬底和半导体层中间的物质即翘曲控制层,从而可以通过翘曲控制层减少衬底和半导体层之间因晶格失配产生的压应力或张应力,进而减小和改变LED外延片的翘曲,提高LED外延片的波长均匀性,提高LED外延片的良率,节约后续形成的LED芯片的分选成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 led 外延 | ||
【主权项】:
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