[发明专利]一种取晶用晶圆蓝膜固定机构有效
| 申请号： | 202011609292.0 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112820685B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 向军;封浩;冯霞霞;王金磊 | 申请（专利权）人： | 江苏新智达新能源设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 南京中高专利代理有限公司 32333 | 代理人： | 陈章 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种取晶用晶圆蓝膜固定机构，包括机架、支撑环、顶杆、第一电机和支架，所述机架包括沿水平方向设置的安装板，所述安装板中开设有安装孔，所述支撑环转动安装在所述安装孔中，所述支撑环中设有扩晶环，所述第一电机固定安装在所述支架上，所述第一电机的输出轴上安装有偏心轮，所述偏心轮转动能够驱动所述顶杆上下移动，通过将顶杆设置在水平调节机构上，通过水平调节机构驱动顶杆向上顶推晶圆蓝膜上不同位置的晶圆来配合取晶工作，在取晶过程蓝膜处于静止状态，提高了取晶过程中的稳定性，保证了取晶精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 取晶用晶圆蓝膜 固定 机构 | ||
【主权项】：
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