[发明专利]一种精控式蚀刻液及其蚀刻方法在审
| 申请号： | 202011608508.1 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN112941516A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 马文勇 | 申请（专利权）人： | 苏州运宏电子有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/16 | 分类号： | C23F1/16;C23F1/02 |
| 代理公司： | 无锡风创知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32461 | 代理人： | 邱国栋 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种精控式蚀刻液及其蚀刻方法，精控式蚀刻液包括过氧化氢稳定剂25～30份，过氧化氢3～4份，三氯化铁0.8～5份，有机酸1～1.3份，蚀刻抑制剂0.2～0.4份，增稠助剂2～5份，螯合剂0.2～0.4份，去离子水72～90份，所述蚀刻抑制剂采用长链形酮基化合物，所述增稠助剂采用乙醇胺氯化物，所述螯合剂采用二齿螯合物，使得整体的精控式蚀刻液获得足够的粘度，蚀刻方式是采用限制精控式蚀刻液运动范围并利用加热鼓风装置保持精控式蚀刻液保持流动性并在精密控制的前提下进行蚀刻作业，本发明的优点在于蚀刻液可以稳定控制行进，实现了提高蚀刻作业控制的精密度的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精控式 蚀刻 及其 方法 | ||
【主权项】：
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