[发明专利]带支撑柱的热影像传感器结构及制作方法有效
| 申请号： | 202011608103.8 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112697280B | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 康晓旭;张博;徐云;华光平;陆涵蔚 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司;上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/48 | 分类号： | G01J5/48 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;陶金龙 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种带支撑柱的热影像传感器结构，利用第二反射层覆盖反射介质层的表面，所述第二反射层具有反射开口，所述反射开口环绕所述第二支撑柱的下端，且位于所述第一电连接图形上，通过第二反射层和第一反射层形成全面覆盖衬底的交叠结构，增强了器件的反射效果；同时反射开口防止可能的光线投射到器件区域，导致电路失效。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑 影像 传感器 结构 制作方法 | ||
【主权项】：
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