[发明专利]热电堆红外传感器及其制造方法在审
| 申请号： | 202011583610.0 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN112629675A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 韩凤芹 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/12 | 分类号： | G01J5/12;G01J5/14;G01J5/20;G01J5/02;H01L21/50;H01L25/16 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 刘亭 |
| 地址： | 315800 浙江省宁波市北*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种热电堆红外传感器及其制造方法，其中，热电堆红外传感器包括：设有膜状热敏电阻的承载基板，承载基板包括相对的第一表面和第二表面；热电堆结构，热电堆结构包括设有第一空腔的第一衬底和设置于第一衬底上的热电堆主体，热电堆主体至少由一组热电偶对构成，第一衬底设置于承载基板的第一表面。本发明通过将热敏电阻设置在承载基板上，使得热电堆结构和热敏电阻能够同时形成于同一封装结构内，实现了集成封装，缩短了工艺步骤，减小了红外热堆传感器的体积，提高了红外热堆传感器的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 热电 红外传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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