[发明专利]一种由莪术醇合成的磺酸锍盐类光产酸剂及其合成方法在审

专利信息
申请号: 202011541788.9 申请日: 2020-12-23
公开(公告)号: CN113045537A 公开(公告)日: 2021-06-29
发明(设计)人: 郭颖;毕景峰;李嫚嫚;王尹卓;潘惠英 申请(专利权)人: 上海博栋化学科技有限公司
主分类号: C07D333/46 分类号: C07D333/46;C07D493/08;G03F7/004
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201614 上海市松江*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种由莪术醇合成的磺酸锍盐类光产酸剂,涉及光产酸剂领域,该光产酸剂的结构式为:R1选自R2选自氟代烷基或者氟代环烷基,且R2结构中的部分亚甲基可以被酯基、醚、羰基或者碳酸酯基取代。该光产酸剂能够降低光产酸剂的扩散,有利于改善边缘粗糙度,减小线宽粗糙度,提高分辨率;亲水亲油平衡,既具有一定的粘附性,又可以在溶剂中均匀溶解,有利于成像;在193nm波长的光源下吸收低,更加透明,有利于光刻胶在193nm波长光源下的曝光,并且具有优良的耐刻蚀性能;合成方法简单。
搜索关键词: 一种 莪术 合成 磺酸锍 盐类 光产酸剂 及其 方法
【主权项】:
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