[发明专利]一种薄膜渗透测试的腔体结构、设备及方法在审
| 申请号： | 202011531572.4 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112649343A | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 姜允中 | 申请（专利权）人： | 济南兰光机电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/08 | 分类号： | G01N15/08 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 张勇 |
| 地址： | 250031 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种薄膜渗透测试的腔体结构、设备及方法，所述腔体结构包括测试腔体；测试腔体的开口一侧开有用于与试样相对的凹槽，测试腔体开有与凹槽连通的抽气端口，测试腔体还开有分别与测试腔体的内腔连通的载气进气端口和载气出气端口；本公开可以检测出测试腔体间是否放置试样，有效的避免了无效的试验和传感器的损坏；实现了无上腔测试，在进行批量测试时能够保证温湿度的一致性，实现更精确的批量测试，提高了测试精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 渗透 测试 结构 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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