[发明专利]一种抛光液供给性能核准装置和化学机械抛光系统在审
| 申请号： | 202011494774.6 | 申请日： | 2020-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN112658970A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 许振杰;梁清波 | 申请（专利权）人： | 华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B37/34;B24B49/00;B24B57/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300350 天津市津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抛光液供给性能核准装置和化学机械抛光系统，所述抛光液供给性能核准装置包括固定座、水平板和定位件，所述固定座可拆卸地设置于抛光盘的外周壁，所述水平板连接于所述固定座的顶部并朝向抛光盘的中心设置，所述定位件设置于固定座的侧部并位于水平板的下部；所述定位件的内侧壁为圆弧结构，所述圆弧结构的尺寸与抛光垫的外径相匹配；所述水平板设置于抛光垫与抛光液供给臂之间，抛光液经由所述抛光液供给臂的端部滴落至所述水平板的顶面，水平板的顶面设置有刻度线以量测抛光液的滴落位置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 供给 性能 核准 装置 化学 机械抛光 系统 | ||
【主权项】：
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