[发明专利]一种三合一绿油塞孔工艺

摘要

本发明公开了一种三合一绿油塞孔工艺，所述塞孔工艺如下：绿油前处理、印油及一次性塞孔、预烤、曝光、显影、终固化和表面处理，所述印油及一次性塞孔包括双面盖油孔和Top⊥面测试孔，所述基板开孔后，对孔中置入孔铜，所述绿油前处理将绿油覆盖于基板表面，并根据实际塞孔的使用要求，控制绿油的覆盖塞孔深度，所述塞孔深度控制为70‑90％或80‑100％，所述塞孔深度为70‑90％时，在表面处理后，塞孔内部置入铝片，将铝片置于为绿油未覆盖塞孔的内部，所述塞孔深度为80‑100％时，塞孔内部全面覆盖绿油。本发明减少了两次塞孔的流程，提升了生产效率，进而降低运行成本，不会影响测试的同时，降低了后工序清洗时藏药水的风险。