[发明专利]一种模块化快拆组合式扫描探针显微镜在审

专利信息
申请号: 202011399079.1 申请日: 2020-12-04
公开(公告)号: CN112540194A 公开(公告)日: 2021-03-23
发明(设计)人: 郭颖;丁明强;夏德铸;张徐开;王佳丽;顾启伟;王晨;陈浩;徐翰英 申请(专利权)人: 南京信息工程大学
主分类号: G01Q60/02 分类号: G01Q60/02
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 柏尚春
地址: 210044 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种模块化快拆组合式扫描探针显微镜,包括马达模块、扫描头模块和样品模块,各模块均设有结构统一的导轨,并通过导轨实现三部分模块快速连接和拆卸。本发明设计为三段模块化结构,形成可以共用马达、快速更换扫描头和样品的模块化显微镜,原来需要购买多款显微镜才能实现的观测效果,可以通过更换扫描头和样品快速实现。这样既可以大大扩展原来单个显微镜的应用领域,实现扫描探针显微镜家族的模块化组合,也可以显著降低显微镜的成本,还可以节约不同显微镜来回切换所消耗的准备时间。
搜索关键词: 一种 模块化 组合式 扫描 探针 显微镜
【主权项】:
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