[发明专利]基于激光辐照的DLC-纳米金刚石复合涂层制备方法有效
申请号: | 202011372926.5 | 申请日: | 2020-11-30 |
公开(公告)号: | CN112647063B | 公开(公告)日: | 2022-06-07 |
发明(设计)人: | 崔雨潇;郭平;马家豪;戚厚军 | 申请(专利权)人: | 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心) |
主分类号: | C23C16/56 | 分类号: | C23C16/56;C23C16/27 |
代理公司: | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人: | 杜文茹 |
地址: | 300222 天*** | 国省代码: | 天津;12 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种基于激光辐照的DLC‑纳米金刚石复合涂层制备方法,包括:对纳米金刚石涂层表面进行预处理;将飞秒激光光束聚焦在预处理后的纳米金刚石涂层表面晶粒顶端,进行飞秒激光刻蚀扫描处理,将纳米金刚石涂层表层纳米金刚石团簇原位诱变为类金刚石;3)对类金刚石‑纳米金刚石复合涂层进行后处理。本发明不仅能够在纳米金刚石涂层表面制备类金刚石薄膜,同时大幅改善类金刚石‑纳米金刚石复合涂层的表面粗糙度,具有显著增益效果。本发明获得的类金刚石‑纳米金刚石复合涂层的表面粗糙度大幅降低,在摩擦过程中可显著降低摩擦副的摩擦系数和对磨面的磨损量。本发明的制备方法工艺简单,成本低廉,非常适合于干摩擦及水润滑工况。 | ||
搜索关键词: | 基于 激光 辐照 dlc 纳米 金刚石 复合 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心),未经天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202011372926.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的