[发明专利]六阶及以上校正STEM多极校正器在审
| 申请号： | 202011306965.5 | 申请日： | 2020-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN112837983A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | A·亨斯特拉;P·C·泰梅杰尔;M·尼斯塔特 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/10 | 分类号： | H01J37/10;H01J37/153;H01J37/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张凌苗;周学斌 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 六阶及以上校正STEM多极校正器。根据本公开，用于校正带电粒子显微镜系统中的粒子光学透镜的轴向像差的校正器包含：第一初级多极，当将第一激励施加到所述第一初级多极时，所述第一初级多极产生第一初级多极场；以及第二初级多极，当将第二激励施加到所述第二初级多极时，所述第二初级多极产生第二初级多极场。所述第一初级多极并未被成像到所述第二初级多极上，从而产生了组合四阶像差。所述校正器进一步包含用于校正所述四阶像差和六阶像差的次级多极。此类校正器可以进一步包含用于校正八阶像差的三级多极。 | ||
| 搜索关键词： | 以上 校正 stem 多极 | ||
【主权项】：
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