[发明专利]一种晶圆表面杂质取样装置有效
| 申请号： | 202011187557.2 | 申请日： | 2020-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN112304703B | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 徐小明 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N1/14 | 分类号： | G01N1/14;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 李路遥;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开了一种晶圆表面杂质取样装置，所述装置包括：取样喷嘴和旋转台；其中，所述旋转台用于承载晶圆，并带动所述晶圆旋转；所述旋转台用于承载所述晶圆的表面为承载面；所述取样喷嘴在所述承载面上与所述旋转台相对设置，所述取样喷嘴朝向所述旋转台的底表面呈长条形，所述长条形的长边沿第一方向延伸；所述第一方向为所述旋转台中心到所述旋转台边缘的方向；所述取样喷嘴包括同轴设置的外部喷嘴架和内部扫描喷嘴；所述内部扫描喷嘴用于通过所述底表面喷洒扫描液到所述晶圆上，并回收所述晶圆上的扫描液；所述外部喷嘴架和内部扫描喷嘴之间构成气体腔室，以将所述扫描液阻隔在所述取样喷嘴内。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 杂质 取样 装置 | ||
【主权项】：
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