[发明专利]一种基于贝塞尔光束加工微孔结构的方法在审

专利信息
申请号: 202011175111.8 申请日: 2020-10-28
公开(公告)号: CN112264724A 公开(公告)日: 2021-01-26
发明(设计)人: 姜澜;吴梦楠;李晓炜;韩伟娜 申请(专利权)人: 北京理工大学重庆创新中心;北京理工大学
主分类号: B23K26/382 分类号: B23K26/382;B23K26/70
代理公司: 重庆智慧之源知识产权代理事务所(普通合伙) 50234 代理人: 高彬
地址: 401135 重*** 国省代码: 重庆;50
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摘要: 发明提供一种基于贝塞尔光束加工微孔结构的方法,包括采用第一脉冲能量的贝塞尔光束对待加工样品进行第一次加工形成初始孔;采用第二脉冲能量的贝塞尔光束对初始孔进行第二次加工,去除初始孔内的堵塞,形成通透孔;其中第一脉冲能量与第二脉冲能量指的是入射至初始孔所在加工区域处对应的实际脉冲能量,第二脉冲能量低于第一脉冲能量,且高于初始孔内堵塞区域的烧蚀阈值。通过强脉冲打孔、弱脉冲疏通的方式,同时兼顾了微孔深度和通透性,提升了贝塞尔光束加工更高深径比通透微孔的能力,对于贝塞尔应用在玻璃等硬质介质材料微孔加工中有着重要意义。
搜索关键词: 一种 基于 贝塞尔 光束 加工 微孔 结构 方法
【主权项】:
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