[发明专利]一种直拉大尺寸无位错锗单晶新型缩颈工艺有效
| 申请号： | 202011151951.0 | 申请日： | 2020-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN112342613B | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 王宇;冯德伸;李燕;雷同光;王博 | 申请（专利权）人： | 中国有研科技集团有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/22 | 分类号： | C30B15/22;C30B29/08 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘秀青 |
| 地址： | 100088*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种直拉大尺寸无位错锗单晶新型缩颈工艺，包括以下步骤：(1)通过常规缩颈工艺将细颈的尺寸控制在3‑5mm，长度150‑300mm；(2)将细颈放粗到Φ15±2mm，等径拉制一段长度，直到细颈部位到达600℃以下的热场区域，然后再放肩到单晶所需的直径。本发明的工艺用于在小梯度热场下，能够在拉制大尺寸无位错锗单晶时，减少细颈因受单晶重力因素导致塑性形变而产生位错，避免这些位错延伸到单晶。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 直拉大 尺寸 无位错锗单晶 新型 缩颈 工艺 | ||
【主权项】：
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