[发明专利]一种重力驱动空间分辨粉末原子层沉积设备、方法及应用

摘要

本发明属于原子层沉积技术领域，公开了一种重力驱动空间分辨粉末原子层沉积设备、方法及应用，粉末原子层沉积设备设置有可加热式主腔体；多级可加热式主腔体之间设置有可动密封结构，并通过橡胶‑金属/橡胶密封；每级可加热式主腔体两端固定有可加热式气体管道，并在连接处设置有粉末过滤器；每级可加热式主腔体一端通过可加热式气体管道连接前驱体和载气，并由电磁阀控制开关；每级可加热式主腔体的另一端通过可加热式气体管道与真空泵连接，由电磁或气动阀门控制开关，在此阀门两端可设置有剩余气体分析器或真空计；设备整体可设置有震动器。本发明采用连续式生长模式设计腔体，明显提高镀膜的效率，降低粉末镀膜的成本。