[发明专利]一种温度系数可调的耐1000℃高温金属薄膜热电阻及其制备方法有效
| 申请号： | 202011121722.4 | 申请日： | 2020-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN112268632B | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 杨永超;王大兴;皮倩倩;刘玺;刘志远;于海超 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十九研究所 |
| 主分类号： | G01K7/18 | 分类号： | G01K7/18;C23C14/58;C23C14/35;C23C14/18;C23C14/08 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 李红媛 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种温度系数可调的耐1000℃高温金属薄膜热电阻及其制备方法，本发明属于温度传感器技术领域，具体涉及一种高温金属薄膜热电阻及其制备方法。本发明的目的是为了解决现有Pt膜热电阻在1000℃高温环境下Pt膜结构稳定性差、高温环境Pt膜表面防护弱、温度系数难以调控和高温引线连接可靠性低的问题。一种温度系数可调的耐1000℃高温金属薄膜热电阻包括耐高温基底层、高稳定感温层、耐高温防护层和高可靠引线防护层，且集成一体。方法：清洗陶瓷片；二、制备高稳定感温层；三、制备耐高温防护层；四、引线焊接；五、制备高可靠引线防护层。本发明通过三层的感温膜防护技术，实现高温环境下稳定测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 温度 系数 可调 1000 高温 金属 薄膜 热电阻 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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