[发明专利]一种适用于碲化镉电池薄膜太阳能电池热工艺的传输装置在审
申请号: | 202011086139.4 | 申请日: | 2020-10-12 |
公开(公告)号: | CN112309940A | 公开(公告)日: | 2021-02-02 |
发明(设计)人: | 彭寿;邓如礼;殷新建;周显华;陈瑛;许伟伟;魏梦楠 | 申请(专利权)人: | 中国建材国际工程集团有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 郎祺 |
地址: | 200030 上海市普*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供的一种适用于碲化镉电池薄膜太阳能电池热工艺的传输装置,包括若干个传输单元,传输单元包括多个钢带、多个滚轴、伺服电机和减速机构;每个滚轴上套设有多个钢带的相同位置;每条钢带上通过多个滚轴支撑,多个滚轴带动钢带滚动;滚轴与伺服电机电连,伺服电机与减速机构电连;传送区间安装了位置传感器,并通过HMI和观察视窗实时监控玻璃基板的位置,位置传感器与传送区间的伺服电机电连接。本发明通过在设备的各个传输区间里均安装位置传感器和观察视窗,通过HMI和观察视窗实时了解玻璃基板的位置,方便工人实时控制玻璃基板;滚轴与钢带能够很好的装配在一起,把伺服电机的角行程完全转化成钢带的直线行程,达到实时控制玻璃基板的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 适用于 碲化镉 电池 薄膜 太阳能电池 工艺 传输 装置 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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