[发明专利]一种高速往复转动振镜的制造工艺在审
| 申请号： | 202011060552.3 | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN112269261A | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 徐强;黄河森;徐洋 | 申请（专利权）人： | 广州新可激光设备有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B7/182 |
| 代理公司： | 广州圣理华知识产权代理有限公司 44302 | 代理人： | 李唐明;顿海舟 |
| 地址： | 510800 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高速往复转动振镜的制造工艺，由以下三个部分构成：硅镜片、支架、固定夹头；该工艺包括以下步骤，步骤一、制作硅镜片，将单质硅片打磨成薄片状，且其具有沿位于薄片上的轴线左右平衡的质量；步骤二、制作支架，在一个定型表面上制作树状支架；步骤三、镜架贴合，将支架利用胶水粘贴固定于硅镜片的背面；步骤四、检查质量平衡，检查沿轴线方向的镜架结构两侧的质量平衡；步骤五、装固定夹头，夹头为金属夹头，夹头一端从轴线的一端将硅镜片和支架一并夹紧固定。本发明的一种高速往复转动振镜的制造工艺，工艺成本低，在振镜片性能基本符合技术要求的情况下，用以替代价格高昂的传统振镜片。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高速 往复 转动 制造 工艺 | ||
【主权项】：
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