[发明专利]一种用于CVD涂层设备加热罩内的加热丝组件在审
申请号: | 202011049444.6 | 申请日: | 2020-09-29 |
公开(公告)号: | CN111996513A | 公开(公告)日: | 2020-11-27 |
发明(设计)人: | 王彤 | 申请(专利权)人: | 常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/46 | 分类号: | C23C16/46;C23C16/52 |
代理公司: | 上海思牛达专利代理事务所(特殊普通合伙) 31355 | 代理人: | 雍常明 |
地址: | 213100 江苏省常州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及金属切削刀具和工模具涂层技术领域,且公开了一种用于CVD涂层设备加热罩内的加热丝组件,包括外框,所述外框的外侧固定安装有拼装吊装块,所述外框的底部分别固定安装有支脚与底部托板,所述外框的内部固定安装有耐火材料,所述耐火材料的内部嵌装有电阻丝,该用于CVD涂层设备加热罩内的加热丝组件,通过用多个加热丝组件组合的形式放置在加热罩内,代替一个整体的形式,因而可分别独立控制多个加热丝组件,也可差异化控制各加热丝组件的温度,因采用多个加热丝组件组合的形式放置在加热罩内,每个加热丝组件体积和重量相对于一个整体的加热丝组件而言,体积要小,重量又轻,方便安装和维护。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 cvd 涂层 设备 加热 组件 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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