[发明专利]一种用于CVD涂层设备加热罩内的加热丝组件在审

专利信息
申请号: 202011049444.6 申请日: 2020-09-29
公开(公告)号: CN111996513A 公开(公告)日: 2020-11-27
发明(设计)人: 王彤 申请(专利权)人: 常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司
主分类号: C23C16/46 分类号: C23C16/46;C23C16/52
代理公司: 上海思牛达专利代理事务所(特殊普通合伙) 31355 代理人: 雍常明
地址: 213100 江苏省常州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及金属切削刀具和工模具涂层技术领域,且公开了一种用于CVD涂层设备加热罩内的加热丝组件,包括外框,所述外框的外侧固定安装有拼装吊装块,所述外框的底部分别固定安装有支脚与底部托板,所述外框的内部固定安装有耐火材料,所述耐火材料的内部嵌装有电阻丝,该用于CVD涂层设备加热罩内的加热丝组件,通过用多个加热丝组件组合的形式放置在加热罩内,代替一个整体的形式,因而可分别独立控制多个加热丝组件,也可差异化控制各加热丝组件的温度,因采用多个加热丝组件组合的形式放置在加热罩内,每个加热丝组件体积和重量相对于一个整体的加热丝组件而言,体积要小,重量又轻,方便安装和维护。
搜索关键词: 一种 用于 cvd 涂层 设备 加热 组件
【主权项】:
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