[发明专利]基板输送装置和基板输送方法有效
| 申请号： | 202011049143.3 | 申请日： | 2020-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN112589807B | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | 武者和博;南展史;铃木杰之 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00;B25J9/16;H01L21/687 |
| 代理公司： | 上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙) 31239 | 代理人： | 尹洪波 |
| 地址： | 日本国神奈川*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够扩大设计自由度的基板输送装置和基板输送方法。基板输送装置具备：臂；末端执行器，与所述臂连结；驱动部，使所述臂上升来使所述末端执行器接收基板；以及控制部，对所述驱动部的输出进行控制来变更所述臂的上升速度，所述控制部构成为，一边通过使所述臂以第1速度上升来使所述末端执行器朝向所述基板上升，一边在所述末端执行器开始使所述基板的高度位置上升时，将所述上升速度改变为比所述第1速度低的第2速度。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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