[发明专利]高准确度且对温度和老化具有低灵敏度的MEMS加速度传感器有效
| 申请号： | 202011048545.1 | 申请日： | 2017-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN112213520B | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | A·托齐奥;F·里奇尼;C·瓦尔扎希纳;G·兰格弗尔德 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了高准确度且对温度和老化具有低灵敏度的MEMS加速度传感器。一种加速度传感器，具有：悬置区域(21)，该悬置区域相对于支撑结构(24)可移动；以及感测组件(37)，该感测组件耦合至该悬置区域并且被配置成用于检测该悬置区域相对于该支撑结构的移动。该悬置区域(21)具有在与各自的质心相关联的彼此不同的至少两个构型之间可变的几何形状。该悬置区域(21)由可旋转地锚定至该支撑结构(24)的第一区域(22)以及通过弹性连接元件(25)耦合至该第一区域(22)的第二区域(23)形成，该弹性连接元件被配置成用于允许该第二区域(23)相对于该第一区域(22)相对移动。驱动组件(40)耦合至该第二区域(23)，以便控制该第二区域相对于该第一区域的相对移动。 | ||
| 搜索关键词： | 准确度 温度 老化 具有 灵敏度 mems 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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