[发明专利]一种集成气体吸附薄膜与红外表面等离子器件用于气体传感的方法及传感器在审
| 申请号： | 202011011879.1 | 申请日： | 2020-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN112345480A | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 牟笑静;周鸿;李东晓;惠新丹 | 申请（专利权）人： | 重庆大学 |
| 主分类号： | G01N21/3504 | 分类号： | G01N21/3504;G01N21/63;G01N21/01;G01N1/40 |
| 代理公司： | 重庆华科专利事务所 50123 | 代理人： | 康海燕 |
| 地址： | 400030 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 一种集成气体吸附薄膜与红外表面等离子器件用于气体传感的方法及传感器，其是在气体传感器的气腔中设置气体吸附薄膜与红外表面等离子器件集成结构，红外表面等离子器件包括人工超表面结构和作为红外窗口和支撑的基底，所述气体吸附薄膜制作在人工超表面结构之上；气体进入气腔并流过气体吸附薄膜与红外表面等离子器件集成结构时，被气体吸附薄膜吸附和浓缩，通过红外表面等离子体器件激发表面等离子体场感应吸附薄膜的变化，红外探测器探测红外光通过红外表面等离子器件的光吸收变化信息，从而得到气体的浓度信息。本发明能解决传统气体传感器探测水平较低，灵敏度不高，无法探测超低浓度的气体的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 气体 吸附 薄膜 红外 表面 等离子 器件 用于 传感 方法 传感器 | ||
【主权项】：
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