[发明专利]半导体设备中的电源输出控制方法和系统、处理器有效
| 申请号： | 202011010055.2 | 申请日： | 2020-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN112130497B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 文莉辉;刘学庆 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供的半导体设备中的电源输出控制方法和系统、处理器和计算机，该方法包括接收计算机发送的与当前的工艺步骤对应的第一信息，并判断第一信息和预先存储的与当前的工艺步骤对应的第二信息是否满足预设的计时触发条件；第一信息包括电源的第一功率值；第二信息包括电源的第二功率值和第二定时时长；第二定时时长大于计算机对电源定时所设定的第一定时时长；若满足，则控制电源输出第二功率值，并从零开始计时，实时判断计时累积时长是否达到第二定时时长；若达到，则控制电源关闭，并向计算机发送报警信号。本发明实施例提供的半导体设备中的电源输出控制方法，可以避免在计算机出现信号处理延时或者故障时出现电源无法关闭的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体设备 中的 电源 输出 控制 方法 系统 处理器 | ||
【主权项】：
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