[发明专利]一种晶圆探针台在审
| 申请号： | 202011005550.4 | 申请日： | 2020-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN112014711A | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 江永 | 申请（专利权）人： | 东莞市凯迪微清洗技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/04;G01N21/84;G01B21/08;G01B11/02;G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人： | 张勋 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市大*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆探针台，包括一结构主体，所述结构主体包括测试箱及设于所述测试箱内的晶圆检测装置；所述晶圆检测装置包括检测台，所述检测台上设有滑轨组，所述滑轨组上设有晶圆承载台，所述晶圆承载台一侧设有探针卡影像装置，所述检测台上还设有探针卡承载台，所述探针卡承载台位于所述晶圆承载台上方，所述探针卡承载台前方设有晶圆影像装置；通过晶圆影像装置、探针影像装置及滑轨组的组合作用，实现晶圆承载台及探卡承载台的精准移动，使得探针卡上的探针能够与每颗晶圆对准接触，实现对每颗晶圆的精准测试，有利于精装区分符合参数的晶圆与不符合参数的晶圆。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 | ||
【主权项】：
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