[发明专利]一种匀胶显影均温加热装置

摘要

本发明公开了一种匀胶显影均温加热装置，包括加热盘体，所述加热盘体包括上盖与下盖，所述上盖表面为晶圆加热面，所述上盖与下盖扣合到一起，接合缝处密封后成为一个密封腔体式的托盘，所述腔体腔内充满导热液体，所述上盖上表面潜表固定温度传感器，所述下盖印刷加热电路，所述温度传感器及加热电路接入控制器。将热对流+热传导+热辐射三者全方位结合来提高加热的温度均匀性，有效覆盖了各种孔及异形结构对加热均匀性的影响，使加热均匀性易于实现。