[发明专利]减少拓扑伪影的方法、电子显微镜系统及计算机程序产品在审
| 申请号： | 202010931769.0 | 申请日： | 2020-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN112577985A | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | R.阿诺德;W.伯格;M.博塞;S.迪默;H.多默;M.埃德尔曼;韩露阳;M.希特尔;A.詹森;S.迈耶;K.舒伯特 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N23/2251 | 分类号： | G01N23/2251;G01N23/2204;G01N23/20091 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明包括一种用于减少显微试样的EDS分析中的拓扑伪影的方法、以及一种电子显微镜系统和一种计算机程序产品。该方法是用电子显微镜系统执行的，其包括：生成电子束的电子柱；扫描系统；检测X射线信号的EDS检测器；固持该试样的可移动台，该台被配置为至少沿轴线x和y移动和绕旋转轴线旋转，该台被配置为执行计算中心旋转和/或同心旋转。该方法包括以下步骤：a)选择试样上的相关区域(ROI)，同时将该ROI相对于EDS检测器保持在第一取向；b)执行第一EDS分析，获得结果A；c)使该试样台绕该旋转轴旋转角度α，使得将该ROI相对于该EDS检测器保持在第二取向；d)补偿试样台旋转；e)执行第二EDS分析，获得结果B；f)合并结果A和结果B。 | ||
| 搜索关键词： | 减少 拓扑 方法 电子显微镜 系统 计算机 程序 产品 | ||
【主权项】：
暂无信息
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