[发明专利]一种常压射频低温等离子体装置在审
| 申请号： | 202010930805.1 | 申请日： | 2020-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN112074069A | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 王裕;江彪;高明;张永亮;陆星铭;黄逸凡 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 北京市诚辉律师事务所 11430 | 代理人： | 朱伟军 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于等离子体技术领域，涉及一种常压射频低温等离子体装置，包括自动点火部分和等离子体放电主体；自动点火部分包括点火元件和移动装置；等离子体放电主体包括用于射频的阳极、阴极以及介质管，阴极和阳极设置在介质管上；介质管上设有进气口，点火元件固定在移动装置上，移动装置带动点火元件进入或退出介质管。本发明能够在保持介质管中空的情况下，利用自动点火结构降低击穿电压，从而在常压条件下产生低温等离子体，该自动点火结构在点火成功后，移出等离子体放电区域，并且操作简单易行，可使用低成本工作惰性气体，并在一定程度上保护电极不受腐蚀，避免金属杂质引入，降低等离子体装置损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 常压 射频 低温 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
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