[发明专利]一种用于硬脆材料晶片的清洗剂在审
申请号: | 202010900911.5 | 申请日: | 2020-09-01 |
公开(公告)号: | CN111909797A | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
发明(设计)人: | 祁有丽;张国亮 | 申请(专利权)人: | 中科孚迪科技发展有限公司 |
主分类号: | C11D1/72 | 分类号: | C11D1/72;C11D1/722;C11D3/04;C11D3/06;C11D3/08;C11D3/20;C11D3/22;C11D3/30;C11D3/32;C11D3/33;C11D3/34;C11D3/37;C11D3/60 |
代理公司: | 长沙大珂知识产权代理事务所(普通合伙) 43236 | 代理人: | 伍志祥 |
地址: | 410500 湖南省岳阳*** | 国省代码: | 湖南;43 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开一种用于硬脆材料晶片的清洗剂,涉及电子工业清洗技术领域。本发明公开的用于硬脆材料晶片的清洗剂,由以下重量百分比的组分组成:无机碱5‑10%,有机碱5‑10%,表面活性剂5‑10%,助溶剂3‑5%,增溶剂1‑5%,螯合剂1‑5%,抗再沉剂2‑5%,消泡剂0.5‑1%,余量为去离子水。本发明提供的用于硬脆材料晶片的清洗剂与污染物相容性好,操作安全,性能稳定,清洗效率高,使用周期长,能有效提高加工效率。本发明配方中所用到的添加剂均符合电子级别清洗要求,符合国家环保法规所规定的废水配方标准不污染水质和土壤,绿色环保。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 材料 晶片 洗剂 | ||
【主权项】:
暂无信息
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