[发明专利]真空系统有效
| 申请号： | 202010890035.2 | 申请日： | 2020-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN112061948B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 郝瀚;周亮 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B66C1/02 | 分类号： | B66C1/02;B25J15/06 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 韩世虹 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及真空系统，包括正压气路、负压气路和吸附气路，正压气路与负压气路均与吸附气路连通，正压气路在连通吸附气路的一端设置第一阀体，负压气路在连通吸附气路的一端设置第二阀体，第一阀体与第二阀体分别用于控制正压气路与负压气路的通断，以使正压气路和负压气路的其中一路开启，另一路自动关闭。通过负压与正压气体的配合能够实现吸附气路的真空吸附压力的精确调节，真空系统正常工作时，首选使用正压气路，厂务正压气体比厂务负压耗能耗资少，因此能够节约厂务耗能耗资。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 系统 | ||
【主权项】：
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