[发明专利]一种晶圆研磨头装置在审
| 申请号： | 202010853915.2 | 申请日： | 2020-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN111993268A | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 罗永胜 | 申请（专利权）人： | 台州市老林装饰有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;B24B37/34 |
| 代理公司： | 蓝天知识产权代理(浙江)有限公司 33229 | 代理人： | 王卫兵 |
| 地址： | 318050 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种晶圆研磨头装置，包括连接梁，所述连接梁的一端顶面固定有升降气缸，升降气缸的推杆穿过连接梁的底面并安装有电机架，电机架的底板的顶面固定有旋转伺服电机，旋转伺服电机的输出轴穿过电机架的底板的底面并固定有连接板，连接板的底面固定抛光研磨头，抛光研磨头的底面中部成型有安装凹槽，晶圆插套在安装凹槽中，晶圆的底面伸出安装凹槽的底面。本发明在安装凹槽的顶面和侧壁安装抛光垫层，从而保证晶圆自转时其侧壁和顶面的表面粗糙度，而且其具有的缓冲弹性充气垫可以保证对晶圆施压时实现软施压，保证抛光研磨效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 装置 | ||
【主权项】：
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