[发明专利]硅基片上傅里叶变换光谱仪及光谱重构方法有效
| 申请号： | 202010753010.8 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN111947780B | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 陆梁军;杜俊杰;周林杰;陈建平;刘娇 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种硅基片上傅里叶变换光谱仪及获得光源重构光谱的方法，所述的光谱仪包括波导输入耦合器、级联光开关、非等臂亚波长光栅(SWG)波导对和锗硅探测器，所述的级联光开关通过非等臂SWG波导对连接。通过调节光开关状态选通光路，构成具有不同光程差的一系列非等臂马赫‑增德尔干涉器(MZI)阵列，实现基于空间外差相干的傅里叶变换光谱仪，并利用压缩感知算法对光谱进行重构。相比于传统无源MZI阵列结构，可以有效降低芯片尺寸、提高采样点数；非等臂SWG波导对可以有效提高芯片温度稳定性、扩大工作带宽。本发明能够满足傅里叶变换光谱仪对于小型化、便携化的应用需求，并能够解决现有硅基片上光谱仪普遍对温度敏感的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 硅基片上 傅里叶变换 光谱仪 光谱 方法 | ||
【主权项】：
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