[发明专利]压电复合薄膜及其制备方法和压电器件在审
| 申请号： | 202010722485.0 | 申请日： | 2020-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN111916556A | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 李宋楚 | 申请（专利权）人： | 欧菲微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/18 | 分类号： | H01L41/18;H01L41/187;H01L41/193;H01L41/37 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 侯武娇 |
| 地址： | 330200 江西省南昌市高*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种压电复合薄膜及其制备方法和压电器件，该压电复合薄膜包括有机聚合物基体及分布于所述有机聚合物基体中的无机压电陶瓷颗粒，所述无机压电陶瓷颗粒在所述有机聚合物基体的厚度方向上贯穿所述有机聚合物基体；所述无机压电陶瓷颗粒在所述有机聚合物基体与所述无机压电陶瓷颗粒的总量中的质量含量为50％～80％。上述压电复合薄膜同时具有较高的压电性能和可挠性。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 复合 薄膜 及其 制备 方法 器件 | ||
【主权项】：
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