[发明专利]纳米探针测试方法在审
| 申请号： | 202010696847.3 | 申请日： | 2020-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN111679100A | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 赵新伟;邱燕蓉;段淑卿;高金德 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01Q30/02 | 分类号： | G01Q30/02;G01Q30/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种纳米探针测试方法，用于对一样品的目标截面进行检测，包括：提供所述样品；在所述样品上标记出包含所述目标截面的目标区域，沿着所述目标区域的边界切割以得到待测部分，并使所述待测部分脱离所述样品，所述目标截面为所述待测部分沿竖直方向的某一截面；切割所述待测部分的侧面以使所述目标截面暴露；旋转所述待测部分以使所述目标截面朝上，并固定在一光片上；将所述光片及所述光片上的待测部分一起转移至纳米探针台上后固定住所述光片，并利用纳米探针对所述目标截面进行测试。通过在样品中将目标截面切割出来，以便于利用纳米探针直接测试所述目标截面，得到准确的电性数据，从而便于进行精确的失效分析。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 探针 测试 方法 | ||
【主权项】：
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