[发明专利]抛光装置在审
| 申请号： | 202010695473.3 | 申请日： | 2020-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN111805400A | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 具滋贤;张月;卢一泓;刘青 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B47/12;B24B41/06;B24B41/00 |
| 代理公司： | 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667 | 代理人： | 赵永刚 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种抛光装置，应用于晶圆，抛光装置包括：上抛光盘、下抛光盘、限位盘和驱动机构；上抛光盘位于限位盘朝向第一方向的一侧，下抛光盘位于限位盘朝向第二方向的一侧，第一方向和第二方向为两个相反的方向；下抛光盘的旋转中心、限位盘的旋转中心和上抛光盘的旋转中心在同一旋转中心线上；限位盘用于承载晶圆，晶圆沿第一方向贯穿限位盘；驱动机构用于分别驱动上抛光盘和下抛光盘相对旋转中心线转动，以使上抛光盘和下抛光盘分别对晶圆相对的两端进行抛光。本发明能够同时对晶圆相对的两个表面进行抛光。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 装置 | ||
【主权项】：
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