[发明专利]分区加热的晶圆加热装置、多工位点胶机及晶圆加热方法在审
| 申请号： | 202010694765.5 | 申请日： | 2020-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN111885755A | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 周典虬;杨健;郜福亮;林翔;樊建;曲东升;李长峰 | 申请（专利权）人： | 常州铭赛机器人科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/26 | 分类号： | H05B3/26;H01L21/67;B05C5/02;B05C13/00 |
| 代理公司： | 常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙) 32409 | 代理人： | 赵旭 |
| 地址： | 213100 江苏省常州市武进*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种分区加热的晶圆加热装置、多工位点胶机及晶圆加热方法，分区加热的晶圆加热装置包括：发热支撑台、加热管、加热盘、至少两个热电偶、温控器，发热支撑台内限定有加热腔；加热管伸入加热腔以进行加热；加热盘贴合于发热支撑台且位于发热支撑台的上方，加热盘的上表面形成为加热面，加热盘接收加热管的热量并由加热面传递给晶圆，加热盘上设有至少两个加热区；至少两个热电偶分别设在至少两个加热区以检测每个加热区的温度；温控器与加热管和热电偶相连，温控器根据热电偶检测的温度控制加热管加热。该分区加热的晶圆加热装置及晶圆加热方法具有使晶圆受热均匀，加热过程平稳的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 分区 加热 装置 多工位点胶机 方法 | ||
【主权项】：
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