[发明专利]分区加热的晶圆加热装置、多工位点胶机及晶圆加热方法在审

专利信息
申请号: 202010694765.5 申请日: 2020-07-17
公开(公告)号: CN111885755A 公开(公告)日: 2020-11-03
发明(设计)人: 周典虬;杨健;郜福亮;林翔;樊建;曲东升;李长峰 申请(专利权)人: 常州铭赛机器人科技股份有限公司
主分类号: H05B3/26 分类号: H05B3/26;H01L21/67;B05C5/02;B05C13/00
代理公司: 常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙) 32409 代理人: 赵旭
地址: 213100 江苏省常州市武进*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种分区加热的晶圆加热装置、多工位点胶机及晶圆加热方法,分区加热的晶圆加热装置包括:发热支撑台、加热管、加热盘、至少两个热电偶、温控器,发热支撑台内限定有加热腔;加热管伸入加热腔以进行加热;加热盘贴合于发热支撑台且位于发热支撑台的上方,加热盘的上表面形成为加热面,加热盘接收加热管的热量并由加热面传递给晶圆,加热盘上设有至少两个加热区;至少两个热电偶分别设在至少两个加热区以检测每个加热区的温度;温控器与加热管和热电偶相连,温控器根据热电偶检测的温度控制加热管加热。该分区加热的晶圆加热装置及晶圆加热方法具有使晶圆受热均匀,加热过程平稳的优点。
搜索关键词: 分区 加热 装置 多工位点胶机 方法
【主权项】:
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