[发明专利]晶圆预热机构及具有其的多工位点胶机在审
| 申请号： | 202010694227.6 | 申请日： | 2020-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN111774248A | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 郜福亮;周典虬;林翔;史晔鑫;曲东升;李长峰 | 申请（专利权）人： | 常州铭赛机器人科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05D3/02;B05C13/02;H01L21/67;B05C9/14 |
| 代理公司： | 常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙) 32409 | 代理人： | 赵旭 |
| 地址： | 213100 江苏省常州市武进*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆预热机构及具有其的多工位点胶机，晶圆预热机构包括：底座；加热器，设于底座，加热器的上表面形成为加热面；顶升组件，设于底座，顶升组件在顶升状态和非顶升状态之间可活动，顶升组件位于顶升状态时至少一部分承接晶圆使晶圆与加热面间隔开，顶升组件位于非顶升状态时不超出加热面，晶圆位于加热面，顶升组件从顶升状态向非顶升状态活动时加热器对晶圆进行非接触式加热以使晶圆逐步升温。根据本发明实施例的晶圆预热机构解决了由接触式加热使晶圆温度突然上升而导致的晶圆破裂问题，能够提高晶圆加热质量，并且晶圆距离加热面的高度可根据需求进行调控，具有均匀升温、加热效果好、可选择性高和操控性强等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 预热 机构 具有 多工位点胶机 | ||
【主权项】：
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