[发明专利]一种超临界流体清洗方法及其装置在审
| 申请号： | 202010691159.8 | 申请日： | 2020-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN111974752A | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 杨景峰;李卫平;杨凡 | 申请（专利权）人： | 洛阳麦透锋科技发展有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海领誉知识产权代理有限公司 31383 | 代理人： | 高振红 |
| 地址： | 471132 河南省洛阳市孟*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超临界流体清洗方法及其装置，该清洗方法包括：向清洗室内持续通入超临界流体；交替改变清洗室内的压力或工件的温度，以使污染物脱离工件表面；将脱离工件的污染物随超临界流体排出，完成工件清洗。清洗装置包括：一流体储罐，以提供流体源，流体源转换为超临界流体；一清洗室，其连接流体储罐，可通入或排放超临界流体，且其由至少两个横截面积不同的清洗腔体构成。本发明的超临界流体清洗方法及其装置，通过交替改变清洗室的压力或工件的温度，在污染物中重复形成空穴或气泡，并不断反复循环，使污染物从工件表面脱离达到清洗的目的，且超临界流体高的扩散系数有利于污染物与流体之间的传质，大大提高了清洗速率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 临界 流体 清洗 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
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