[发明专利]吊装组件和吊装装置有效
| 申请号： | 202010588915.4 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN111717840B | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 李晓军 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B66F7/14 | 分类号： | B66F7/14;B66F7/28 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 张少辉 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种吊装组件和吊装装置。该吊装组件用于吊装半导体工艺设备，包括安装套筒，轴向穿过所述安装套筒的转轴，所述转轴的中部处于所述安装套筒的内部，所述转轴的两端均处于所述安装套筒的外部，并且所述转轴能相对于所述安装套筒转动和沿所述轴向移动，以及吊臂，包括两个间隔开的连接腿，所述转轴的第一端通过一连接件拆装式连接至所述吊臂的第一连接腿，所述吊臂的第二连接腿上开设有收纳孔，所述转轴的第二端能沿所述轴向插入或移出所述收纳孔。由于吊臂的体积和重量比现有技术的吊装工具显著减小，而且能够容易地与转轴拆装，从而方便了半导体工艺设备的吊装。 | ||
| 搜索关键词： | 吊装 组件 装置 | ||
【主权项】：
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