[发明专利]一种硅片输送装置在审
申请号: | 202010585671.4 | 申请日: | 2020-06-24 |
公开(公告)号: | CN113830524A | 公开(公告)日: | 2021-12-24 |
发明(设计)人: | 刘爱军;曹丙强;庄艳歆;周浪 | 申请(专利权)人: | 江苏金晖光伏有限公司 |
主分类号: | B65G47/24 | 分类号: | B65G47/24;B65G47/91;H01L21/677;H01L21/67;B07C5/36 |
代理公司: | 扬州润中专利代理事务所(普通合伙) 32315 | 代理人: | 张琳 |
地址: | 225600 江苏省扬*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种硅片输送装置,涉及硅片生产技术领域,包括底座,所述底座的顶部设置有第一支撑板,所述第一支撑板的底部与底座的顶部固定连接,所述第一支撑板的内壁设置有光电传感器,所述底座的顶部设置有固定柱,所述固定柱的顶部设置有第一液压泵,所述第一液压泵的内壁设置有第一伸缩杆,所述第一伸缩杆的一端设置有支撑架,所述支撑架的底部固定安装有轴承,所述轴承的外壁设置有矫正带。该装置通过设置的光电传感器检测硅片的位置,当光电传感器监测到硅片位置偏移时,第一液压泵使第一伸缩杆伸长,两侧矫正带同步向中间移动,将硅片的位置进行矫正,使硅片的位置重新调整至传送带中间位置,以达到位置矫正,提高生产质量的效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅片 输送 装置 | ||
【主权项】:
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