[发明专利]多晶硅棒在审
| 申请号： | 202010558365.1 | 申请日： | 2013-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN111647943A | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 海东良一 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B13/00;C30B29/62;C01B33/035 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 刁兴利;康泉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多晶硅棒。通过FZ法使多晶硅棒单晶化时，不会发生错位且能够稳定地进行单晶化时的控制。多晶硅棒(11)具有多晶硅构成的种棒(11a)、以及在该种棒(11a)的外周面通过CVD法析出的多晶硅析出体(11b)。该多晶硅棒(11)被用作通过FZ法制备硅单晶的原料。另外，多晶硅棒(11)的直径为77mm以下，用光学显微镜以相对于种棒(11a)的轴线正交的截面观察多晶硅棒(11)时，长度为288μm以下且上述截面中的占有面积比例为78％以上的针状结晶在多晶硅析出体(11b)中以种棒(11a)为中心放射状地均匀分布。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 | ||
【主权项】：
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