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[发明专利]多晶硅棒-CN202010558365.1在审
发明人： 海东良一 -专利权人：三菱综合材料株式会社
申请日： 2013-06-20 - 公布日： 2020-09-11 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本发明提供一种多晶硅棒。通过FZ法使多晶硅棒单晶化时，不会发生错位且能够稳定地进行单晶化时的控制。多晶硅棒(11)具有多晶硅构成的种棒(11a)、以及在该种棒(11a)的外周面通过CVD法析出的多晶硅析出体(11b)。该多晶硅棒(11)被用作通过FZ法制备硅单晶的原料。另外，多晶硅棒(11)的直径为77mm以下，用光学显微镜以相对于种棒(11a)的轴线正交的截面观察多晶硅棒(11)时，长度为288μm以下且上述截面中的占有面积比例为78％以上的针状结晶在多晶硅析出体(11b)中以种棒(11a)为中心放射状地均匀分布。
多晶

[发明专利]多晶硅棒-CN201310247464.8在审
发明人： 海东良一 -专利权人：三菱综合材料株式会社
申请日： 2013-06-20 - 公布日： 2014-01-15 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：通过FZ法使多晶硅棒单晶化时，不会发生错位且能够稳定地进行单晶化时的控制。多晶硅棒（11）具有多晶硅构成的种棒（11a）、以及在该种棒（11a）的外周面通过CVD法析出的多晶硅析出体（11b）。该多晶硅棒（11）被用作通过FZ法制备硅单晶的原料。另外，多晶硅棒（11）的直径为77mm以下，用光学显微镜以相对于种棒（11a）的轴线正交的截面观察多晶硅棒（11）时，长度为288μm以下且上述截面中的占有面积比例为78%以上的针状结晶在多晶硅析出体（11b）中以种棒（11a）为中心放射状地均匀分布。
多晶