[发明专利]还原炉内壁处理装置及其方法在审
| 申请号： | 202010541115.7 | 申请日： | 2020-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN111690924A | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 张宝顺;王体虎;宗冰 | 申请（专利权）人： | 亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C24/04 | 分类号： | C23C24/04;C01B33/035 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 赵薇 |
| 地址： | 810007 青海*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种还原炉内壁处理装置及其方法，涉及多晶硅装备技术领域，该还原炉内壁处理装置包括钟罩、旋转机构、磁感应加热组件以及冷气体动力喷枪；钟罩具有密闭的容置空间；旋转机构与钟罩传动连接，用于驱动钟罩旋转；磁感应加热组件包括高频线圈，高频线圈设置于容置空间内，用于将钟罩内壁面加热至预设温度范围；冷气体动力喷枪设置于容置空间内，用于向钟罩内壁面喷射粉末。通过该还原炉内壁处理装置，解决了现有技术中存在的在冷气体动力喷涂法中，钟罩多采用硬度较大的不锈钢，对喷涂条件的要求较高的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 还原 内壁 处理 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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