[发明专利]正型光敏树脂组合物和由其制备的固化膜在审
申请号: | 202010528769.6 | 申请日: | 2020-06-11 |
公开(公告)号: | CN112147845A | 公开(公告)日: | 2020-12-29 |
发明(设计)人: | 金智雄;许槿;郑周永;任珍奎;金莲玉 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料韩国有限公司 |
主分类号: | G03F7/039 | 分类号: | G03F7/039;G03F7/027;G03F7/004 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陈哲锋;钱文宇 |
地址: | 韩国忠*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种正型光敏树脂组合物和一种由其制备的固化膜。所述正型光敏树脂组合物包含非极性有机溶剂,从而抑制所述组合物中的环氧基的反应性,以减少二醇化合物的产生。当由所述组合物制备固化膜时,可保持适当的可显影性水平以进一步增强图案粘附性、分辨率和敏感性。此外,由于本发明的组合物在室温和低温下在膜保留率上具有小的差异,因此所述组合物可以具有随时间推移稳定的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 光敏 树脂 组合 制备 固化 | ||
【主权项】:
暂无信息
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