[发明专利]旋转轴五自由度误差运动的精密测量装置及方法有效
| 申请号： | 202010521028.5 | 申请日： | 2020-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN111721199B | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 赵会宁;丁雯静;于连栋;夏豪杰;符晗;蒲淞 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京市科名专利代理事务所(特殊普通合伙) 11468 | 代理人： | 陈朝阳 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种旋转轴五自由度误差运动的精密测量装置及方法，包括固定测头模块和主探测器模块，其中：固定测头模块包括圆台透镜；主探测器模块包括固定支架，固定支架内设有第一激光器和第一四象限位移探测器，第一激光器射出的激光与旋转轴轴线的夹角大于0°、小于90°，固定支架内还设有第二激光器、第二四象限位移探测器、第三激光器和第三四象限位移探测器。本发明采用的测量方法利用圆台透镜进行多次反射，精度更高，对于精度要求较高的旋转轴运动误差运动有很好的测量精度。本发明采用的材料和装置成本低于传统校准的仪器装备价格，在很大程度上节省了测量成本。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转轴 自由度 误差 运动 精密 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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