[发明专利]支撑条及掩膜版有效
| 申请号： | 202010475484.0 | 申请日： | 2020-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN111647846B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 臧公正;李文星;李伟丽 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 刘葛 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种支撑条及掩膜版，具有支撑区和夹持区，支撑条包括：本体，设于支撑区；异形部，设于支撑区，且位于本体在第一方向上的至少一侧；以及夹持部，设于夹持区，且沿第二方向位于本体的两端；其中，本体具有与第二方向平行的第一中轴线，夹持部具有与第二方向平行的第二中轴线，支撑区具有与第二方向平行的第一形心主轴；在第一方向上，第二中轴线位于第一中轴线指向第一形心主轴的一侧；第一方向与第二方向相互垂直且均位于本体所在的平面上。轴力的作用线与第一形心主轴之间的距离减小，从而使轴力的作用线与整个支撑条的第二形心主轴之间的距离减小，偏心距减小，相应地，弯矩减小，从而减小了支撑条在非拉伸方向的偏移量。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑 掩膜版 | ||
【主权项】：
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